기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
CCD 카메라를 이용한 전자빔 조사량의 예측
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • CCD 카메라를 이용한 전자빔 조사량의 예측
저자명
김진규,김영민,김윤중,이상희,홍기민,오상호,Kim. Jin-Gyu,Kim. Young-Min,Kim. Youn-Joong,Lee. Sang-Hee,Hong. Ki-Min,Oh. Sang-Ho
간행물명
한국현미경학회지
권/호정보
2009년|39권 1호|pp.79-83 (5 pages)
발행정보
한국현미경학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

We report a useful method to estimate the electron dose rate which may be a decisive factor to characterize sample properties. Even though most mircoscopes have their own exposure meters, there are several practical concerns when such exposure meters are used to measure the electron dose rate: 1) Specimen should be avoided within the entire area of exposure meter; 2) beam current has to be always recorded whenever the operation mode is changed; 3) the electron dose rate can not be calculated for the beam current beyond the detectable range. To overcome these limitations, we suggest a useful method which utilize a CCD (charge coupled device) camera which is now a popular detector to obtain the final electron micrographs. We have evaluated the CCD sensitivity using the linear relationship between electron current on the exposure meter and counter ratio on the CCD camera which are built in KBSI-HVEM (high voltage electron microscope). Applying the new method, we obtained the CCD sensitivity which are approximately 0.039 counts/$e^-$ and 1.37 counts/$e^-$ for the Top-TV and the HV-GIF CCD cameras, respectively.