- 다층 나노임프린트 리소그래피 공정장비 기술
- ㆍ 저자명
- 이재종,최기봉,김기홍,박수연,Lee. Jae-Jong,Choi. Kee-Bong,Kim. Gee-Hong,Park. Soo-Yeon
- ㆍ 간행물명
- 한국정밀공학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2009년|26권 6호|pp.21-25 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국정밀공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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