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CU+ ION EXTRACTION FROM A MODIFIED BERNAS ION SOURCE IN A METAL-ION IMPLANTER
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  • CU+ ION EXTRACTION FROM A MODIFIED BERNAS ION SOURCE IN A METAL-ION IMPLANTER
  • CU+ ION EXTRACTION FROM A MODIFIED BERNAS ION SOURCE IN A METAL-ION IMPLANTER
저자명
Hong. In-Seok,Lee. Hwa-Ryun,Trinh. Tu Anh,Cho. Yong-Sub
간행물명
Nuclear engineering and technology : an international journal of the Korean Nuclear Society
권/호정보
2009년|41권 5호|pp.709-714 (6 pages)
발행정보
한국원자력학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

An ion implanter, which can serve as a metal-ion supply, has been constructed and performance tested. Copper ions are generated and extracted from a Bernas ion source with a heating crucible that provides feed gases to sustain the plasma. Sable arc plasmas can be sustained in the ion source for a crucible temperature in excess of $350^{circ}C$. Stable extraction of the ions is possible for arc Currents less than 0.3 A. Arc currents increase with the induced power of a block cathode and the transverse field in the ion source. $Cu^+$ ions in the extracted beam are separated using a dipole magnet. A $20{mu}A$ $Cu^+$ ion current can be extracted with a 0.2 A arc current. The ion current can support a dose of $10^{16}ions/cm^2$ over an area of $15;cm^2$ within a few hours.