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800 V급 4H-SiC DMOSFET 전력 소자 구조 최적화 시뮬레이션
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  • 800 V급 4H-SiC DMOSFET 전력 소자 구조 최적화 시뮬레이션
저자명
최창용,강민석,방욱,김상철,김남균,구상모,Choi. Chang-Yong,Kang. Min-Seok,Bahng. Wook,Kim. Sang-Cheol,Kim. Nam-Kyun,Koo. Sang-Mo
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2009년|22권 8호|pp.637-640 (4 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this work, we demonstrate 800 V 4H-SiC power DMOSFETs with several structural alterations to obtain a low threshold voltage ($V_{TH}$) and a high figure of merit ($V_B;^2/R_{SP,ON}$), To optimize the device performance, we consider four design parameters; (a) the doping concentration ($N_{CSL}$) of current spreading layer (CSL) beneath the p-base region, (b) the thickness of p-base ($t_{BASE}$), (c) the doping concentration ($N_J$) and width ($W_J$) of a JFET region, (d) the doping concentration ($N_{EPI}$) and thickness ($t_{EPI}$) of epi-layer. These parameters are optimized using 2D numerical simulation and the 4H-SiC DMOSFET structure results in a threshold voltage ($V_{TH}$) below $^{sim}$3.8 V, and high figure of merit ($V_B;^2/R_{SP,ON}$>$^{sim}$200 $MW/cm^2$) for a power MOSFET in $V_B;^{sim}$800 V range.