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O2 플라즈마로 처리한 폴리머 기판 위에 성장된 GZOB 박막의 특성
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  • O2 플라즈마로 처리한 폴리머 기판 위에 성장된 GZOB 박막의 특성
저자명
유현규,이종환,이태용,허원영,이경천,신현창,송준태,Yu. Hyun-Kyu,Lee. Jong-Hwan,Lee. Tae-Yong,Hur. Won-Young,Lee. Kyung-Chun,Shin. Hyun-Chang,Song. Joon
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2009년|22권 8호|pp.645-649 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We investigated the effects of a high density $O_2$ plasma treatment on the structural and electrical properties of Ga-, B- codoped ZnO (GZOB) films. The GZOB films were deposited on polymer substrate without substrate heating by DC magnetron sputtering. Prior to the GZOB film growth, we treated a polymer substrate with highly dense inductively coupled oxygen plasma. The optical transmittance of the GZOB film, about 80 %, was maintained regardless of the plasma pre-treatment. The resistivity of the GZOB film on PC substrate decreased from 9.08 ${ imes}$ $10^{-3}$ ${Omega}-cm$ without an $O_2$ plasma pre-treatment to 2.12 ${ imes}$ $10^{-3}$ ${Omega}-cm$ with an $O_2$ plasma pre-treatment. And PES substrate decreased from 1.14 ${ imes}$ $10^{-2}$ ${Omega}-cm$ without an $O_2$ plasma pre-treatment to 6.13 ${ imes}$ $10^{-3}$ ${Omega}-cm$ with an $O_2$ plasma pre-treatment.