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X선 영상의 에지 추출을 통한 플립칩 솔더범프의 접합 형상 오차 검출
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  • X선 영상의 에지 추출을 통한 플립칩 솔더범프의 접합 형상 오차 검출
저자명
송춘삼,조성만,김준현,김주현,김민영,김종형,Song. Chun-Sam,Cho. Sung-Man,Kim. Joon-Hyun,Kim. Joo-Hyun,Kim. Min-young,Kim. Jong-Hyeong
간행물명
제어·로봇·시스템학회 논문지
권/호정보
2009년|15권 9호|pp.916-921 (6 pages)
발행정보
제어로봇시스템학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The technology to inspect and measure an inner structure of micro parts has become an important tool in the semi-conductor industrial field with the development of automation and precision manufacturing. Especially, the inspection skill on the inside of highly integrated electronic device becomes a key role in detecting defects of a completely assembled product. X-ray inspection technology has been focused as a main method to inspect the inside structure. However, there has been insufficient research done on the customized inspection technology for the flip-chip assembly due to the interior connecting part of flip chip which connects the die and PCB electrically through balls positioned on the die. In this study, therefore, it is implemented to detect shape error of flip chip bonding without damaging chips using an x-ray inspection system. At this time, it is able to monitor the solder bump shape by introducing an edge-extracting algorithm (exponential approximation function) according to the attenuating characteristic and detect shape error compared with CAD data. Additionally, the bonding error of solder bumps is automatically detectable by acquiring numerical size information at the extracted solder bump edges.