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Markov Chain Monte Carlo를 이용한 반도체 결함 클러스터링 파라미터의 추정
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  • Markov Chain Monte Carlo를 이용한 반도체 결함 클러스터링 파라미터의 추정
  • Estimation of Defect Clustering Parameter Using Markov Chain Monte Carlo
저자명
하정훈,장준현,김준현,Ha. Chung-Hun,Chang. Jun-Hyun,Kim. Joon-Hyun
간행물명
산업경영시스템학회지
권/호정보
2009년|32권 3호|pp.99-109 (11 pages)
발행정보
한국산업경영시스템학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Negative binomial yield model for semiconductor manufacturing consists of two parameters which are the average number of defects per die and the clustering parameter. Estimating the clustering parameter is quite complex because the parameter has not clear closed form. In this paper, a Bayesian approach using Markov Chain Monte Carlo is proposed to estimate the clustering parameter. To find an appropriate estimation method for the clustering parameter, two typical estimators, the method of moments estimator and the maximum likelihood estimator, and the proposed Bayesian estimator are compared with respect to the mean absolute deviation between the real yield and the estimated yield. Experimental results show that both the proposed Bayesian estimator and the maximum likelihood estimator have excellent performance and the choice of method depends on the purpose of use.