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Dual-Configuration Four-Point Probe Method에 의한 휴대형 면저항 측정기 개발
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  • Dual-Configuration Four-Point Probe Method에 의한 휴대형 면저항 측정기 개발
저자명
강전홍,유광민,김완섭,Kang. Jeon-Hong,Yu. Kwang-Min,Kim. Wan-Seop
간행물명
전기학회논문지. The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. P
권/호정보
2010년|59권 4호|pp.423-427 (5 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Portable sheet resistance-measuring instrument using the dual-configuration Four-Point Probe method is developed for the purpose of precisely measuring the sheet resistance of conducting thin films. While single-configuration Four-Point Probe method has disadvantages of applying sample size, shape and thickness corrections for a probe spacing, the developed instrument has advantages of no such corrections, little edge effects and measuring simply and accurately the sheet resistance between $0.2Omega/sq$ and $2kOmega/sq$.