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펄스레이저 증착법에 의한 polyethersulfone 기판상의 ZnO박막의 특성
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  • 펄스레이저 증착법에 의한 polyethersulfone 기판상의 ZnO박막의 특성
저자명
최영진,이천,Choi. Young-Jin,Lee. Cheon
간행물명
전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers
권/호정보
2010년|59권 1호|pp.113-115 (3 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this study, ZnO films have been grown on PES(polyethersu]fone) substrate by PLD(pulsed laser deposition) and characterized as a change of laser density and substrate temperature. Growing conditions were changed with substrate temperatures ranging from 50 to $200^{circ}C$ and laser densities ranging from $0.2sim0.4 J/cm^2$. Optical and structural properties were measured by XRD, SEM, AFM, PL measurement.

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