- Cu Pillar 플립칩 접속부의 열 싸이클링 및 고온유지 신뢰성
- ㆍ 저자명
- 김민영,임수겸,오태성,Kim. M.Y.,Lim. S.K.,Oh. T.S.
- ㆍ 간행물명
- 마이크로전자 및 패키징 학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2010년|17권 3호|pp.27-32 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국마이크로전자및패키징학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
Cu pillar 범프와 Sn 패드로 구성된 플립칩 접속부를 형성한 후, Sn 패드의 높이에 따른 Cu pillar 플립칩 접속부의 열 싸이클링 및 고온유지 신뢰성을 분석하였다. Cu pillar 플립칩 접속부를 구성하는 Sn 패드의 높이가 5 ${mu}m$에서 30 ${mu}m$로 증가함에 따라 접속저항이 31.7 $m{Omega}$에서 13.8 $m{Omega}$로 감소하였다. $-45^{circ}C{sim}125^{circ}C$ 범위의 열 싸이클을 1000회 인가한 후에도 Cu pillar 플립칩 접속부의 접속저항의 증가가 12% 이하로 유지되었으며, 열 싸이클링 시험전과 거의 유사한 파괴 전단력을 나타내었다. $125^{circ}C$에서 1000 시간 유지시에도 Cu pillar 플립칩 접속부의 접속저항의 증가가 20% 이하로 유지되었다.
For the flip chip joints processed using Cu pillar bumps and Sn pads, thermal cycling and high temperature storage reliabilities were examined as a function of the Sn pad height. With increasing the height of the Sn pad, which composed of the flip chip joint, from 5 ${mu}m$ to 30 ${mu}m$, the contact resistance of the flip chip joint decreased from 31.7 $m{Omega}$ to 13.8 $m{Omega}$. Even after thermal cycles of 1000 times ranging from $-45^{circ}C$ to $125^{circ}C$, the Cu pillar flip chip joints exhibited the contact resistance increment below 12% and the shear failure forces similar to those before the thermal cycling test. The contact resistance increment of the Cu pillar flip chip joints was maintained below 20% after 1000 hours storage at $125^{circ}C$.