- IrMn 스핀밸브 박막소자의 폭 크기에 의존하는 자장감응도
- ㆍ 저자명
- 최종구,이상석,Choi. Jong-Gu,Lee. Sang-Suk
- ㆍ 간행물명
- 韓國磁氣學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2010년|20권 2호|pp.41-44 (4 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국자기학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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NiFe/Cu/NiFe/IrMn 스핀밸브 박막에 대해 Cu의 두께에 의존하는 자장감응도를 조사하였다. Ta(5 nm)/NiFe(8 nm)/Cu(3.5 nm)/NiFe(4 nm)/IrMn(8 nm)/Ta(2.5 nm) 다층박막 구조에 대해 측정한 Minor 자기저항 곡선에서 자기저항비, 자장감응도, 보자력, 층간상호교환결합력은 각각 1.46 %, 2.0 %/Oe, 2.6 Oe, 0.1 Oe 이었다. 광 리소그래피 공정으로 제작한 10가지 다른 폭 크기와 $4.45;{mu}m$의 길이를 갖는 GMR-SV 소자의 자장감응도는 폭 크기가 $10;{mu}m$에서 $1;{mu}m$까지 작아짐에 따라 0.3 %/Oe에서 0.06 %/Oe로 감소하였다.
The Cu thickness dependence of magnetic sensitivity for the NiFe/Cu/NiFe/IrMn spin valve multilayer was investigated. The magnetic properties measured by minor MR curves for the Ta(5 nm)/NiFe(8 nm)/Cu(3.5 nm)/NiFe(4 nm)/IrMn(8 nm)/Ta(2.5 nm) multilayer is MR = 1.46 %, MS = 2.0 %/Oe, $H_c;=;2.6;Oe$, and $H_{int};=;0.1;Oe$. The magnetic sensitivities of GMR-SV devices with ten different widths and a same length of $4.45;{mu}m$ by fabricated by photo lithography decreased from 0.3 %/Oe to 0.06%/Oe as from a width of $10;{mu}m$ to $1;{mu}m$.