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금속유기분해법을 사용한 Zr0.7Sn0.3TiO4 박막 제조 및 유전특성
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  • 금속유기분해법을 사용한 Zr0.7Sn0.3TiO4 박막 제조 및 유전특성
저자명
선호정,Sun. Ho-Jung
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2010년|23권 4호|pp.311-316 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

$Zr_{0.7}Sn_{0.3}TiO_4$ (ZST) thin films were fabricated by metal-organic decomposition, and their dielectric properties were investigated in order to evaluate their potential use in passive capacitors for rf and analog/mixed signal integrated circuits. The ZST thin film annealed at the temperature of $800^{circ}C$ showed a dielectric constant of 27.3 and a dielectric loss of 0.011. The capacitor using the ZST film had quadratic and linear voltage coefficient of capacitance (VCC) of -65 ppm/$V^2$ and -35 ppm/V at 100 kHz, respectively. It also exhibited a good temperature coefficient of capacitance (TCC) value of -32 ppm/$^{circ}C$ at 100 kHz.