- 내압특성개선을 위한 트렌치 필드링 설계 및 전기적특성에 관한 연구
- ㆍ 저자명
- 강이구,김범준,이용훈,Kang. Ey-Goo,Kim. Beum-Jun,Lee. Young-Hun
- ㆍ 간행물명
- 전기전자재료학회논문지
- ㆍ 권/호정보
- 2010년|23권 1호|pp.1-5 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전기전자재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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In this paper, we proposed trench field ring for breakdown voltage of power devices. The proposed trench field ring was improved 10% efficiency comparing with conventional field ring. we analyzed five parameters of trench field ring for design of trench field ring and carried out 2-D devices simulation and process simulations. That is, we analyzed number of field ring, juction depth, distance of field rings, trench width, doping profield. The proposed trench field ring was better to more 1000 V.