- 극초단 펄스 레이저 응용 미세가공기술
- ㆍ 저자명
- 이제훈,손현기,Lee. Jae-Hoon,Sohn. Hyon-Kee
- ㆍ 간행물명
- 한국정밀공학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2010년|27권 2호|pp.7-12 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국정밀공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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Due to the extremely short interaction time (< $10 imes10^{-12}$sec) between laser pulse and material, which enables the minimization of heat affection, ultrafast laser micro-machining has rapidly widened its applications. In this paper, the characteristics of ultrafast laser micro-machining have been reviewed and experimentally demonstrated in laser drilling of silicon wafer and in laser cutting of rigid PCB.