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SBN 박막의 열처리온도에 따른 전기적인 특성
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  • SBN 박막의 열처리온도에 따른 전기적인 특성
저자명
김진사,Kim. Jin-Sa
간행물명
전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers
권/호정보
2010년|59권 6호|pp.1083-1086 (4 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The $Sr_{0.7}Bi_{2.3}Nb_2O_9$ thin films were deposited on Si substrate using RF magnetron sputtering method. And the SBN thin films were annealed at 650~800$[^{circ}C$]. The surface rougness showed about 0.42[nm] in annealed thin film at $650[^{circ}C$]. The dielectric constant(150) of SBN thin film was obtained by annealing temperature above $700[^{circ}C$]. The voltage dependence of dielectric loss showed a value within 0.02 in voltage ranges of -10~+10[V]. The dielectric constant characteristics showed a stable value with the increase of frequency. Also, the SBN thin films annealed at $750[^{circ}C$] showed a fatigue-free characteristics up to $1.0 imes10^8$ cycles.