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정전 용량형 MEMS 공진기의 비이상적 주파수 응답 모델링
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  • 정전 용량형 MEMS 공진기의 비이상적 주파수 응답 모델링
저자명
고형호,Ko. Hyoung-Ho
간행물명
센서학회지
권/호정보
2010년|19권 3호|pp.191-196 (6 pages)
발행정보
한국센서학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper, modeling of the non-ideal frequency response, especially "notch-and-spike" magnitude phenomenon and phase lag distortion, are discussed. To characterize the non-ideal frequency response, a new electro-mechanical simulation model based on SPICE is proposed using the driving loop of the capacitive vibratory gyroscope. The parasitic components of the driving loop are found to be the major factors of non-ideal frequency response, and it is verified with the measurement results.