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Analysis and Suppression of the Corner Effect in a Saddle MOSFET Including Quantum Confinements Effects
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  • Analysis and Suppression of the Corner Effect in a Saddle MOSFET Including Quantum Confinements Effects
  • Analysis and Suppression of the Corner Effect in a Saddle MOSFET Including Quantum Confinements Effects
저자명
셰드,김희상,라흐만,이종호,박병국,신형철,Pervez. Syed Atif,Kim. Hee-Sang,Rehman. Atteq-Ur,Lee. Jong-Ho,Park. Byung-Gook,Shin. Hyung-Cheol
간행물명
電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체
권/호정보
2010년|47권 3호|pp.1-6 (6 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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영문초록

Saddle MOSFET의 모서리의 효과에 대한 고전역학과 양자역학적 시뮬레이션의 비교분석을 3차원 수치 시뮬레이터를 사용하여 수행하였다. 비교분석 결과 양자역학적 시뮬레이션에서는 실리콘 핀의 단면에서의 정확한 최대 전자 밀도의 위치와 크기를 제공함으로써 소자의 정확한 설명을 제공하는 것을 보여 주었고, 이를 이용하여 모서리 효과 및 그것이 소자의 문턱전압의 특성을 미치는 영향의 정확한 분석이 실행되었다. 또한, 모서리 효과를 억제하기 위해서 실리콘 핀의 모서리를 둥글게 하거나 구석의 바디도핑을 낮추는 두 가지 가능한 기법을 제시했다.

기타언어초록

A comparative analysis of quantum-mechanical and classical simulation regarding corner effect in a Saddle MOSFET has been carried out using a 3-D numerical simulator. The comparison has shown that quantum simulation gives correct description of device by providing accurate peak E-density position and magnitude at the Si-fin cross-section, hence accurate analysis of corner effect and its impact on device threshold voltage (Vth) characteristics is carried out. Moreover, rounding the Si-fin comers or lowering the body doping have been shown as two possible techniques to suppress the undesirable corner effect.