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TiO2/ZnS/Ag/ZnS/TiO2 다층막의 PDP 필터용 전극 특성
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  • TiO2/ZnS/Ag/ZnS/TiO2 다층막의 PDP 필터용 전극 특성
저자명
오원석,이서희,장건익,박성완,Oh. Won-Seok,Lee. Seo-Hee,Jang. Gun-Eik,Park. Seong-Wan
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2010년|23권 9호|pp.681-684 (4 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The $TiO_2$/ZnS/Ag/ZnS/$TiO_2$ multilayered structure for the transparent electrodes in plasma display panel was designed by essential macleod program (EMP) and the multilayered film was deposited on a glass substrate by direct-current (DC)/radio-frequency (RF) magnetron sputtering system. During film deposition process, the Ag layer in $TiO_2$/Ag/$TiO_2$ structure became oxidized and the filter characteristic was degraded easily. In this study, ZnS layer was adopted as a diffusion blocking layer between $TiO_2$ and Ag to prevent the oxidation of Ag layer efficiently in $TiO_2$/ZnS/Ag/ZnS/$TiO_2$ structure. Based on the AES depth profiling analysis, the Ag layer was effectively protected by the ZnS layer as compared with the $TiO_2$/Ag/$TiO_2$ multilayered films without ZnS as an antioxidant layer. The 3 times stacked $TiO_2$/ZnS/Ag/ZnS/$TiO_2$ films have low sheet resistance of $1.22{Omega}/{square}$ and luminous transmittance was as high as 62% in the visible ranges.