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Nanoscale NAND SONOS memory devices including a Seperated double-gate FinFET structure
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  • Nanoscale NAND SONOS memory devices including a Seperated double-gate FinFET structure
  • Nanoscale NAND SONOS memory devices including a Seperated double-gate FinFET structure
저자명
Kim. Hyun-Joo,Kim. Kyeong-Rok,Kwack. Kae-Dal
간행물명
신뢰성응용연구
권/호정보
2010년|10권 1호|pp.65-71 (7 pages)
발행정보
한국신뢰성학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

NAND-type SONOS with a separated double-gate FinFET structure (SDF-Fin SONOS) flash memory devices are proposed to reduce the unit cell size of the memory device and increase the memory density in comparison with conventional non volatile memory devices. The proposed memory device consists of a pair of control gates separated along the direction of the Fin width. There are two unique alternative technologies in this study. One is a channel doping method and the other is an oxide thickness variation method, which are used to operate the SDF-Fin SONOS memory device as two-bit. The fabrication processes and the device characteristics are simulated by using technology comuter-adided(TCAD). The simulation results indicate that the charge trap probability depends on the different channel doping concentration and the tunneling oxide thickness. The proposed SDG-Fin SONOS memory devices hold promise for potential application.