- Tribological Properties of Adsorbed Water Layer on Silicon Surfaces
- Tribological Properties of Adsorbed Water Layer on Silicon Surfaces
- ㆍ 저자명
- Kim. Doo-In,Kim. Kwang-Ho,Ahn. Hyo-Sok
- ㆍ 간행물명
- International journal of precision engineering and manufacturing
- ㆍ 권/호정보
- 2010년|11권 5호|pp.741-746 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국정밀공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
