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Surface Form Measurement Using Single Shot Off-axis Fizeau Interferometry
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  • Surface Form Measurement Using Single Shot Off-axis Fizeau Interferometry
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저자명
Abdelsalam. Dahi Ghareab,Baek. Byung-Joon,Cho. Yong-Jai,Kim. Dae-Suk
간행물명
Journal of the Optical Society of Korea
권/호정보
2010년|14권 4호|pp.409-414 (6 pages)
발행정보
한국광학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper describes the surface form measurement of a spherical smooth surface by using single shot off-axis Fizeau interferometry. The demodulated phase map is obtained and unwrapped to remove the $2pi$ ambiguity. The unwrapped phase map is converted to height and the 3D surface height of the surface object is reconstructed. The results extracted from the single shot off-axis geometry are compared with the results extracted from four-frame phase shifting in-line interferometry, and the results are in excellent agreement.