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Novel Maskless Bumping for 3D Integration
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  • Novel Maskless Bumping for 3D Integration
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저자명
Choi. Kwang-Seong,Sung. Ki-Jun,Lim. Byeong-Ok,Bae. Hyun-Cheol,Jung. Sung-Hae,Moon. Jong-Tae,Eom. Yong-Sung
간행물명
ETRI journal
권/호정보
2010년|32권 2호|pp.342-344 (3 pages)
발행정보
한국전자통신연구원
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A novel, maskless, low-volume bumping material, called solder bump maker, which is composed of a resin and low-melting-point solder powder, has been developed. The resin features no distinct chemical reactions preventing the rheological coalescence of the solder, a deoxidation of the oxide layer on the solder powder for wetting on the pad at the solder melting point, and no major weight loss caused by out-gassing. With these characteristics, the solder was successfully wetted onto a metal pad and formed a uniform solder bump array with pitches of 120 ${mu}m$ and 150 ${mu}m$.