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공기스프링과 압전작동기를 결합한 복합형 미진동 방진마운트 시스템 개발
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  • 공기스프링과 압전작동기를 결합한 복합형 미진동 방진마운트 시스템 개발
저자명
문석준,정형조,신윤호,장동두,정종안,문영종,Moon. S.J.,Jung. H.J.,Shin. Y.H.,Jang. D.D.,Jeong. J.A.,Moon. Y.J.
간행물명
한국소음진동공학회논문집
권/호정보
2011년|21권 1호|pp.56-65 (10 pages)
발행정보
한국소음진동공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A new hybrid mount system is proposed for microvibration control in a high-tech factory. The mount consists of an airspring as a passive device and a piezostack actuator as an active device. The two devices are connected in series. Some numerical simulations and experimental tests are carried out to evaluate isolation performance of the mount system comprising of four proposed hybrid mounts. As a control logic, the specific algorithm is adopted for considering multiple target frequencies of excitation based on a Filtered-X LMS algorithm. The results are compared with isolation performance of the passive airspring mount system. It is confirmed that the proposed hybrid mount system has great performance on microvibration.