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고주파 마그네트론 스퍼터링 방법을 사용하여 Al 기판위에 증착된 PTFE 박막의 초-발수에 관한 특성 연구
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  • 고주파 마그네트론 스퍼터링 방법을 사용하여 Al 기판위에 증착된 PTFE 박막의 초-발수에 관한 특성 연구
저자명
배강,김화민,Bae. Kang,Kim. Hwa-Min
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2011년|24권 1호|pp.64-69 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Super-hydrophobic properties have been achieved on the rf-sputtered polytetrafluoroethylene(PTFE) films deposited on etched aluminum surfaces. The microstructural evolution created after etching has been investigated by FESEM. The water contact angle over $160^{circ}$ can be achieved on the rf-sputtered ultra-tihn PTFE film less than 10 nm coated on aluminum surface etched with 7 wt.%, 12.5 wt.%, and 15 wt.% HCl concentration for 12 min. XPS analysis have revealed the presence of a large quantity of $-CF_3$ and $-CF_2$ groups in the rf-sputtered PTFE films that effectively can reduce the surface energy of etched aluminum. The presence of patterned morphology along with the low surface energy at the rf-sputtered PTFE coating makes the aluminum surface with high super-hydrophobic property.