중적외선 결상용 실리콘 렌즈의 변조전달함수(MTF)를 칼날 주사방식으로 측정하는 적외선 MTF 측정장치를 구성하였다. 이를 위하여 반달형 칼날 물체를 사용하여 초점거리 50 mm, F/4인 실리콘 렌즈에 대한 중적외선 파장대인 $3{sim}5;{mu}m$에서의 축상 자오 방향에 대한 MTF를 측정하였다. 이 때 무한 물체를 만들기 위해서 초점거리가 2.545 m인 비축 포물 반사경을 사용하였다. 측정한 MTF는 렌즈의 설계 자료로부터 구한 MTF와 비교한 결과, 7 lp/mm 이하에서 2 % 이내의 MTF 허용오차를 만족하고 있음을 알 수 있었다.
We fabricate a measuring system to measure the modulation transfer function (MTF) of a mid-infrared imaging silicon lens by using the knife-edge scanning technique. In particular, we measure on-axial tangential MTF of the silicon lens with the focal length of 50 mm and F-number F/4 in the wavelength band of mid-infrared between $3;{mu}m$ and $5;{mu}m$. In order to obtain the infinite object, the off-axial parabolic reflector with the focal length of 2.545 m is utilized. In the comparison with measured MTF data and designed MTF values curve, we find that the tolerance of measured MTF data below the spatial frequency of 7 lp/mm is within 2%.
