본 연구에서는 미세채널과 나노채널의 교차부에 불균형 동전기성을 이용한 미세혼합기를 개발하였다. 채널 내 용액의 혼합은 인가된 전압에 의한 전기삼투유동과 미세채널과 나노채널 교차 부에서의 불균형 동전기성에 의한 와류현상에 의해 이루어진다. 미세채널은 PDMS 을 이용하여 소프트리소그래피 공정으로 제작하였고, 나노채널은 미세채널의 특정위치에 전기적 충격에 의한 PDMS 의 파괴로 매우 간단하게 제작하였다. 혼합성능을 평가하기 위하여 형광물질인 Rhodamine B 용액을 이용하여 혼합 전과 후의 형광 분포를 분석하였으며, 약 90%의 혼합을 얻을 수 있었다. 본 연구의 미세혼합기는 복잡한 공정을 요구하지 않고 매우 간단하게 제작되었으며, 생화학시료 분석을 위한 미세시스템에 활용될 수 있다.
In this study, we developed a micromixer based on the non-equilibrium electrokinetics at the junction of a microchannel and nanochannel. Two fluid streams were mixed by an electro-osmotic flow and a vortex flow created as a result of the non-equilibrium electrokinetics at the junction of the microchannel and nanochannel. Initially, the microchannel was fabricated using Polydimethylsiloxane (PDMS) by the general soft lithography process and the nanochannel was created at a specific position on the microchannel by applying a high voltage. To evaluate the mixing performance of the micromixer, fluorescent distribution was analyzed by using the fluorescent dye, Rhodamine B. About 90% mixing was achieved with this novel micromixer, and this micromixer can be used in microsystems for biochemical sample analysis.
