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Chemical and Physical Properties of Porous Silicon
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  • Chemical and Physical Properties of Porous Silicon
  • Chemical and Physical Properties of Porous Silicon
저자명
Jang. Seunghyun
간행물명
Journal of the Chosun Natural Science
권/호정보
2011년|4권 1호|pp.1-6 (6 pages)
발행정보
조선대학교 기초과학연구원
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The properties of porous silicon, such as substrate properties, porosity, thickness, refractive index, surface area, and optical properties of porous silicon were reviewed. Some properties, such as porosity, refractive index, thickness, pore diameter, multi-structures, and optical properties, are strongly dependent on the anodization process parameters. These parameters include HF concentration, current density, anodization time, and silicon wafer type and resistivity.