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전자빔 증착법으로 이축배향된 Ni-3%W 기판 위에 높은 증착률로 제조된 $CeO_2$ 완충층에 대한 연구
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  • 전자빔 증착법으로 이축배향된 Ni-3%W 기판 위에 높은 증착률로 제조된 $CeO_2$ 완충층에 대한 연구
저자명
김혜진,이종범,김병주,홍석관,이현준,권병국,이희균,홍계원,Kim. H.J.,Lee. J.B.,Kim. B.J.,Hong. S.K.,Lee. H.J.,Kwon. B.G.,Lee. H.G.,Hong. G.W.
간행물명
한국초전도·저온공학회논문지
권/호정보
2011년|13권 1호|pp.1-5 (5 pages)
발행정보
한국초전도저온공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

[ $CeO_2$ ]has been widely used for single buffer layer of coated conductor because of superior chemical and structural compatibility with $ReBa_2Cu_3O_{7-{delta}}$(Re=Y, Nd, Sm, Gd, Dy, Ho, etc.). But, the surface of $CeO_2$ layer showed cracks because of the large difference in thermal expansion coefficient between metal substrate and deposited $CeO_2$ layer, when thickness of $CeO_2$ layer exceeds 100 nm on the biaxially textured Ni-3%W substrate. The deposition rate has been limited to be less than 6 $AA$/sec in order to get a good epitaxy. In this research, we deposited $CeO_2$ single buffer layers on biaxially textured Ni-3%W substrate with 2-step process such as thin nucleation layer(>10 nm) with low deposition rate(3 $AA$/sec) and thick homo epitaxial layer(>240 nm) with high deposition rate(30 $AA$/sec). Effect of deposition temperature on degree of texture development was tested. Thick homo epitaxial $CeO_2$ layer with good texture without crack was obtained at $600^{circ}C$, which has ${Delta}{phi}$ value of $6.2^{circ}$, ${Delta}{omega}$ value of $4.3^{circ}$ and average surface roughness(Ra) of 7.2 nm within $10{mu}m{ imes}10{mu}m$ area. This result shows the possibility of preparing advanced Ni substrate with simplified architecture of single $CeO_2$ layer for low cost coated conductor.