- 플라즈마 삽입전극의 전류에 미치는 밀도 구배의 영향
- ㆍ 저자명
- 황휘동,구치욱,정경재,최재명,김곤호,고광철,Hwang. Hui-Dong,Gu. Chi-Wuk,Chung. Kyung-Jae,Choe. Jae-Myung,Kim. Gon-Ho,Ko. Kwang-Cheol
- ㆍ 간행물명
- 전기전자재료학회논문지
- ㆍ 권/호정보
- 2011년|24권 6호|pp.504-509 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전기전자재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
