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MEMS 공정을 이용한 마이크로 PZT 외팔보 에너지 수확소자의 제작 및 특성
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  • MEMS 공정을 이용한 마이크로 PZT 외팔보 에너지 수확소자의 제작 및 특성
저자명
김문근,황범석,정재화,민남기,권광호,Kim. Moon-Keun,Hwang. Beom-Seok,Jeong. Jae-Hwa,Min. Nam-Ki,Kwon. Kwang-Ho
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2011년|24권 6호|pp.515-518 (4 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this work, we designed and fabricated a multilayer thin film Pb(Zr,Ti)$O_3$ cantilever with a Si proof mass for low frequency vibration energy harvesting applications. A mathematical model of a mu lti-layer composite beam was derived and applied in a parametric analysis of the piezoelectric cantilever. Finally, the dimensions of the cantilever were determined for the resonant frequency of the cantilever. W e fabricated a device with beam dimensions of about 4,930 ${mu}M$ ${ imes}$ 450 ${mu}M$ ${ imes}$ 12 ${mu}M$, and an integrated Si proof mass with dimensions of about 1,410 ${mu}M$ ${ imes}$ 450 ${mu}M$ ${ imes}$ 450 ${mu}M$. The resonant frequency, maximum peak voltage, and highest average power of the cantilever device were 84.5 Hz, 88 mV, and 0.166 ${mu}Wat$ 1.0 g and 23.7 ${Omega}$, respectively. The dimensions of the cantilever were determined for the resonance frequency of the cantilever.