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아나타세 TiO2 도핑파워가 다성분계 TiO2-ITO 투명 전극의 전기적, 광학적, 구조적 특성에 미치는 효과
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  • 아나타세 TiO2 도핑파워가 다성분계 TiO2-ITO 투명 전극의 전기적, 광학적, 구조적 특성에 미치는 효과
저자명
임종욱,최윤영,조충기,최광혁,김한기,Lim. Jong-Wook,Choi. Yoon-Young,Cho. Chung-Ki,Choi. Kwang-Hyuk,Kim. Han-Ki
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
2011년|21권 7호|pp.371-376 (6 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We report on the effects of $TiO_2$ doping power on the characteristics of multicomponent $TiO_2$-ITO (TITO) electrodes prepared by a multi-target sputtering system with tilted cathode guns. Both as-deposited and annealed TITO electrodes showed linearly increased sheet resistance and resistivity with increasing $TiO_2$ doping power. However, the TITO electrodes exhibited a fairly high optical transmittance regardless of the $TiO_2$ doping power due to the high transparency of the $TiO_2$. Although the annealed TITO showed much lower sheet resistance and resistivity relative to the as-deposited samples, the electrical properties of the annealed samples exhibited similar dependence on the $TiO_2$ power to the as-deposited samples. In addition, it was found that doping of an anatase $TiO_2$ in the ITO electrode prevented the preferred (222) orientation of the TITO electrodes. Although the TITO electrode showed higher sheet resistance and resistivity than that of the pure ITO electrode, it offers a very smooth surface and usage of a low-cost Ti element. It is thus considered a promising multicomponent transparent conducting electrode for cost-efficient flat panel displays and photovoltatics.