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KOH Etching을 통한 4H-SiC Epitaxy 박막에서의 전위결함 거동
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  • KOH Etching을 통한 4H-SiC Epitaxy 박막에서의 전위결함 거동
저자명
신윤지,김원정,문정현,방욱,Shin. Yun-Ji,Kim. Won-Jeong,Moon. Jeong-Hyun,Bahng. Wook
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2011년|24권 10호|pp.779-783 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The morphology of etch pits in commercial 4H-SiC epi-wafer were investigated by molten-KOH etching. The etching process was optimized in $525{sim}570^{circ}C$ at 2~10 min and the novel type of etch pits was revealed. This type of etch pits have been considered as TED (threading edge dislocation) II, its origin and nature, however, are not reported yet. In this work, the morphology and evolution of etch pits during epitaxial growth were analyzed and the different behavior between TED and TEDII was discussed.