- KOH Etching을 통한 4H-SiC Epitaxy 박막에서의 전위결함 거동
- ㆍ 저자명
- 신윤지,김원정,문정현,방욱,Shin. Yun-Ji,Kim. Won-Jeong,Moon. Jeong-Hyun,Bahng. Wook
- ㆍ 간행물명
- 전기전자재료학회논문지
- ㆍ 권/호정보
- 2011년|24권 10호|pp.779-783 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전기전자재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
