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저온 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 비정상적인 Hump 현상 분석
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  • 저온 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 비정상적인 Hump 현상 분석
저자명
김유미,정광석,윤호진,양승동,이상율,이희덕,이가원,Kim. Yu-Mi,Jeong. Kwang-Seok,Yun. Ho-Jin,Yang. Seung-Dong,Lee. Sang-Youl,Lee. Hi-Deok,Lee. Ga-Won
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2011년|24권 11호|pp.900-904 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper, we investigated an anomalous hump phenomenon under the positive bias stress in p-type LTPS TFTs. The devices with inferior electrical performance also show larger hump phenomenon. which can be explained by the sub-channel induced from trapped electrons under thinner gate oxide region. We can confirm that the devices with larger hump have larger interface trap density ($D_{it}$) and grain boundary trap density ($N_{trap}$) extracted by low-high frequency capacitance method and Levinson-Proano method, respectively. From the C-V with I-V transfer characteristics, the trapped electrons causing hump seem to be generated particularly from the S/D and gate overlapped region. Based on these analysis, the major cause of an anomalous hump phenomenon under the positive bias stress in p-type poly-Si TFTs is explained by the GIDL occurring in the S/D and gate overlapped region and the traps existing in the channel edge region where the gate oxide becomes thinner, which can be inferred by the fact that the magnitude of the hump is dependent on the average trap densities.