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Visually Guided 3D Micro Positioning and Alignment System
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  • Visually Guided 3D Micro Positioning and Alignment System
  • Visually Guided 3D Micro Positioning and Alignment System
저자명
Kim. Jung-Hyun
간행물명
International journal of precision engineering and manufacturing
권/호정보
2011년|12권 5호|pp.797-803 (7 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper presents a Visually Guided Micro Positioning and Alignment System that employs Scanning White Light Interferometry (SWLI). An Interferometry microscope is integrated with a magnetically suspended motion stage to achieve alignment of micro objects in 3D. Based on the SWLI measurement an integrated control scheme is presented which enables the alignment of micro objects in 3D space. A demonstration of 3D micro alignment and manipulation was designed to show the capabilities of the integrated system. Alignment and docking of two silicon micro cantilevers is demonstrated using the magnetically suspended stage and the 3D sensing ability of the SWLI. Experimental results show that cantilever docking can be achieved with less than 30nN force sensitivity.