- 국가 리크표준기용 오일유량계 개발 및 예비 평가
- ㆍ 저자명
- 홍승수,송한욱,최인묵,박연규,Hong. S.S.,Song. H.W.,Choi. I.M.,Park. Y.K.
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2012년|21권 6호|pp.295-300 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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지름이 각각 10 mm와 20 mm인 피스톤과 진공장치를 이용해서 발생된 유량과 이온게이지의 압력을 측정하여 비교하는 방법으로 개발 중인 오일유량계의 성능을 예비 평가하였다. 큰 피스톤의 유량 발생 범위는 $1{ imes}10^{-1}Pa{cdot}L/s{sim}1.2Pa{cdot}L/s$이었고 작은 피스톤의 유량발생 범위는 $5.3{ imes}10^{-1}Pa{cdot}L/s{sim}1.05Pa{cdot}L/s$이었으며, 이 구간에서의 반복성과 직선성은 비교적 좋았다. 개발 중인 오일유량계는 국가 리크표준기로서 앞으로 표준리크를 교정하는데 활용할 계획이다.
We preliminarily evaluated the performance of a flowmeter by the measurement of the pressure of a ionization gauge and the produced throughput (Q) using a vacuum system and pistons with the radius of 10 mm and 20 mm. The throughput range with the later piston was from $1{ imes}10^{-1}Pa{cdot}L/s$ to $1.2Pa{cdot}L/s$ and that with the former piston was from $5.3{ imes}10^{-1}Pa{cdot}L/s$ to $1.05Pa{cdot}L/s$. In these ranges, both pistons showed good repeatability and linearity. The developed oil flowmeter as the leak standard will be used in the calibration of standard leak.