마주보는 2개의 병렬전극을 이용한 스캔 방식의 디지털 X-ray 영상 센서는 많은 발전을 해왔으며 상업용으로 널리 이용되고 있다. 본 연구에서는 PDP(plasma display panel) 제조 공정에서 사용되고 있는 글라스 재질에 silver paste 전극을 이용하여 드리프트 전극과 픽셀 전극이 있는 챔버를 형성하고 챔버내에 X-ray와 반응하는 Xe 가스를 주입하여 스캔 방식의 1D X-ray 영상 센서를 제작하였다. 드리프트 전극의 바이어스 전압 크기에 따른 싱글 픽셀의 X-ray 신호 크기를 평가하였으며 납(Pb)을 이용하여 싱글 픽셀을 차폐하였을 경우와 차폐하지 않았을 때의 싱글 픽셀 신호 특성을 조사하였다. X-ray 흡수율(4%)은 소다 라임(soda lime, 1.1mm) 글라스에서 가장 낮았으며 센서에서 검출되는 전기적 신호는 드리프트 전극에 인가하는 전압이 클수록 증가하였다. 그리고 자체 제작한 DAS(data acquisition system) 및 센서 스캐닝 시스템을 이용하여 디지털 영상을 구현하였다.
Parallel-plate-type scanning sensors have been commercially used for X-ray imaging sensors. In this study, we manufactured the scan typed 1D X-ray image sensor that can be used to obtain scanning images, by using the plasma display panel (PDP) fabrication process. We fabricated drift and pixel electrodes in the glass chamber and injected Xe gas at atmospheric pressure. We evaluated the intensity of a pixel signal depending on the bias voltage on the drift electrode and investigated the characteristics of shielding effect on the single pixel using lead (Pb). The adsorption rate of X-ray photon is low (4%) on the soda lime glass (1.1mm) and the electrical signal detected on the X-ray sensor was increased in the high bias voltage. We acquired digital X-ray scanning image with our DAS (data acquisition system) and sensor scanning system.
