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P형 4H-SiC 기판에 형성된 ZnO 박막/나노선 가스 센서의 300℃에서 CO 가스 감지 특성
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  • P형 4H-SiC 기판에 형성된 ZnO 박막/나노선 가스 센서의 300℃에서 CO 가스 감지 특성
저자명
김익주,오병훈,이정호,구상모,Kim. Ik-Ju,Oh. Byung-Hoon,Lee. Jung-Ho,Koo. Sang-Mo
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2012년|25권 2호|pp.91-95 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

ZnO thin films were deposited on p-type 4H-SiC substrate by pulsed laser deposition. ZnO nanowires were formed on p-type 4H-SiC substrate by furnace. Ti/Au electrodes were deposited on ZnO thin film/SiC and ZnO nanowire/SiC structures, respectively. Structural and crystallographical properties of the fabricated ZnO thin film/SiC and ZnO nanowire/SiC structures were investigated by field emission scanning electron microscope and X-ray diffraction. In this work, resistance and sensitivity of ZnO thin film/SiC gas sensor and ZnO nanowire/SiC gas sensor were measured at $300^{circ}C$ with various CO gas concentrations (0%, 90%, 70%, and 50%). Resistance of gas sensor decreases at CO gas atmosphere. Sensitivity of ZnO nanowire/SiC gas sensor is twice as big as sensitivity of ZnO thin film/SiC gas sensor.