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복합구조의 압전 에너지 하베스터를 위한 공정연구
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  • 복합구조의 압전 에너지 하베스터를 위한 공정연구
저자명
이경수,신동진,고중혁,Lee. Kyoung-Soo,Shin. Dong-Jin,Koh. Jung-Hyuk
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2012년|25권 4호|pp.286-289 (4 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper, we have proposed piezoelectric energy harvester employing the pillar structure with the diameter size of 500 um. So we have selected the Su-8 photo-resist and modified lithography process to manufacture the pillar structure with height above the $500{mu}m$. Simultaneously, we tried to make a comparative study to use ceramic bulk - polymer structure In this paper, we will report the process and properties of micro pillar structure based on the PMN-PZT ($Pb(Mg_{1/3}Nb_{2/3})O_3-PbZrTiO_3$) materials. Finally, We will propose a method for generating electrical energy with a piezoelectric element using vibration, an energy source can be obtained from the "clean" energy.