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단결정 사파이어 광학소자의 ELID 경면연삭 가공 특성
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  • 단결정 사파이어 광학소자의 ELID 경면연삭 가공 특성
저자명
곽재섭,김건희,이용철,오오모리 히토시,곽태수,Kwak. Jae-Seob,Kim. Geon-Hee,Lee. Yong-Chul,Ohmori. Hitoshi,Kwak. Tae-Soo
간행물명
한국정밀공학회지
권/호정보
2012년|29권 3호|pp.247-252 (6 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This study has been focused on application of ELID mirror-surface grinding technology for manufacturing single crystal optic sapphire. Single crystal sapphire is a superior material with optic properties of high performance as light transmission, thermal conductivity, hardness and so on. Mirror-surface machining technology is necessary to use sapphire as optic parts. The ELID grinding system has been set up for machining of the sapphire material. According to the ELID experimental results, it shows that the surface of sapphire can be eliminated by metal bonded wheel with micron abrasives and the surface roughness of 60nmRa can be gotten using grinding wheel of 2,000 mesh in 4.5um, depth of cut. In this study, the chemical experiments after ELID grinding also has been conducted to check chemical reaction between workpiece and grinding wheel on ELID grinding process. It shows that the chemical reaction has not happened as the results of the chemical experiments.