본 논문은 장비엔지니어링 시스템(EES) 프레임워크에서 반도체와 광전자 제조장비를 위한 새로운 하이브리드 생산설비데이터 습득 시스템을 설계하고 구현한다. 장비엔지니어링 분야에서 장비로부터 수집되는 데이터 량이 급격히 증가하고 있다. 제안된 HEDAS(Hybrid Equipment Data Acquisition System)는 EES 프레임워크에서 발생하는 대용량의 실시간 데이터를 효율적으로 처리한다. 또한, 제안된 시스템은 실시간 EES 응용 뿐만 아니라 비실시간 EES 응용을 지원할 수 있다. 실시간 EES 응용을 위해서 HEDAS는 메모리 기반의 연속질의와 필터링 기술을 이용하여 고속의 실시간 처리를 수행한다. HEADS는 비 실시간 장비 데이터를 HEADS 기반의 데이터베이스 또는 기존의 데이터베이스에 선택적으로 저장할 수 있다. 특히, 급격하게 증가하는 장비 데이터에 대해 디스크 저장 비용을 절감하기 위해 타임스템프 기반의 압축 인덱싱과 질의처리 기법을 제공한다. HEDAS는 EES 프레임워크에서 대용량의 실시간 및 비 실시간 장비 데이터를 수집하여 다양한 EES 응용에 수집된 데이터를 전송할 수 있는 효율적인 시스템이다.
In this paper we design and implement a new Hybrid Equipment Data Acquisition System (HEDAS) for data collection of semiconductor and optoelectronic manufacturing equipments in the equipment engineering system(EES) framework. The amount of the data collected from equipments have increased rapidly in equipment engineering system. The proposed HEDAS efficiently handles a large amount of real-time equipment data generated from EES framework. It also can support the real-time ESS applications as well as non real-time ESS applications. For the real-time EES applications, it performs high-speed real-time processing that uses continuous query and filtering techniques based on memory buffers. The HEDAS can optionally store non real-time equipment data using a HEDAS-based database or a traditional DBMS-based database. In particular, The proposed HEDAS offers the compression indexing based on the timestamp of data and query processing technique saving the cost of disks storage against extremely increasing equipment data. The HEDAS is efficient system to collect huge real-time and non real-time equipment data and transmit the collected equipment data to several EES applications in EES framework.
