- Electromigration-induced void evolution in upper and lower layer dual-inlaid Copper interconnect structures
- Electromigration-induced void evolution in upper and lower layer dual-inlaid Copper interconnect structures
- ㆍ 저자명
- Pete. D.J.,Mhaisalkar. S.G.,Helonde. J.B.,Vairagar. A.V.
- ㆍ 간행물명
- Advances in materials research
- ㆍ 권/호정보
- 2012년|1권 2호|pp.109-113 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 테크노프레스
- ㆍ 파일정보
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- ㆍ 주제분야
- 기타
