- Nano positioning control for dual stage using minimum order observer
- Nano positioning control for dual stage using minimum order observer
- ㆍ 저자명
- Kim. Hong-Gun
- ㆍ 간행물명
- Journal of mechanical science and technology
- ㆍ 권/호정보
- 2012년|26권 3호|pp.941-947 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한기계학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
