ESPI는 비접촉 비파괴 방식으로 측정 대상체의 진동이나 변형에 따른 3차원 형상 정보의 취득에 효과적으로 사용되어 왔다. 측정 대상체와 계측 환경에 따라 면내, 면외, 전단간섭 등으로 구분할 수 있으며, 간섭계를 구성하는 광소자의 형태에 따라 벌크형과 광섬유형으로 나뉜다. 광섬유형 시스템은 크기가 작고 휴대하기 편하여 시스템 구성 및 정렬이 매우 용이하다. 본 논문에서는 광섬유 면외 ESPI를 이용한 광학계를 구성하였고, PZT를 이용하여 위상 변조를 ${pi}/2$만큼 주기적으로 가하여 CCD 카메라에서 이미지를 획득하였다. 획득한 스페클 패턴 이미지는 후처리 과정을 통해 측정 대상체의 3차원 위상 정보를 얻게 된다. 내부 결함이 존재하는 압력용기에 질소 가스를 주입하여 변화되는 phase map을 관찰하였고, 또한 phase map의 후처리를 통하여 압력에 따른 대상체의 변화를 3차원으로 확인하였다.
An optical defect detection method using ESPI(electronic speckle pattern interferometry) is proposed. ESPI is widely used as a non-contact measurement system which show deformation and phase map in real time. ESPI can be divided as the in-plane, out-of-plane and shearography by operation principle and target object and also divided with bulk type and optic fiber type by the optic configurations. This paper is focused on optic fiber type out-of-plane ESPI, which has the following advantages: (1) low cost; (2) reduction of the unreliable factors generated by separated optic components; (3) simplification of the optic configuration; (4) great reduction of volume; (5) flexibility, to be easily designed into different structures to adapt to inaccessible environments such as pipeline cavity and so on.
