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온도 가스 감지 다기능성 세라믹 복합 센서
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  • 온도 가스 감지 다기능성 세라믹 복합 센서
저자명
문희규,심영석,김도홍,류정호,김진상,박형호,박동수,윤석진,장호원,Moon. Hi-Gyu,Shim. Young-Seok,Kim. Do-Hong,Ryu. Jung-Ho,Kim. Jin-Sang,Park. Hyung-Ho,Park. D
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2012년|25권 8호|pp.646-650 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Multifunctional structures with two kinds of materials have been intensively investigated in order to improve their electrical characteristic with two functions simultaneously. However, the research regarding of multifunctional ceramic sensor is still in a preliminary stage and how to integrate them with low-cost and high-yield mass production process remains a challenge issue. In this study, we fabricated the multifunctional ceramic sensor composed of temperature and gas sensors. Moreover, we investigated the CO sensing properties of three dimensional nanostuctured $Nb_2O_5$ thin film gas sensors fabricated with silica ($SiO_2$ nanosphere (${O}$= 750 nm). Compared to plain films, the nanostructured films show enhanced gas sensing of greater sensitivity and a faster response. This result reveals that significantly increased sensitivity is an increase in the effective surface area for the adsorption of gas molecules.