- A compact and fast nano-stylus profiling head for optical instruments
- A compact and fast nano-stylus profiling head for optical instruments
- ㆍ 저자명
- Park. Jae-Hong,Jo. Yang-Keun,Kim. Ji-Hoe,Lee. Dong-Yeon
- ㆍ 간행물명
- Journal of mechanical science and technology
- ㆍ 권/호정보
- 2012년|26권 7호|pp.2077-2080 (4 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한기계학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
