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Process Considerations for 80-GHz High-Performance p-i-n Silicon Photodetector for Optical Interconnect
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  • Process Considerations for 80-GHz High-Performance p-i-n Silicon Photodetector for Optical Interconnect
  • Process Considerations for 80-GHz High-Performance p-i-n Silicon Photodetector for Optical Interconnect
저자명
Cho. Seong-Jae,Kim. Hyung-Jin,Sun. Min-Chul,Park. Byung-Gook,Harris. James S. Jr.
간행물명
Journal of semiconductor technology and science
권/호정보
2012년|12권 3호|pp.370-376 (7 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this work, design considerations for high-performance silicon photodetector are thoroughly investi- gated. Besides the critical dimensions of device, guidelines for process architecture are suggested. Abiding by those criteria for improving both direct-current (DC) and alternating-current (AC) perfor- mances, a high-speed low-operation power silicon photodetector based on p-i-n structure for optical interconnect has been designed by device simulation. An $f_{-3dB}$ of 80 GHz at an operating voltage of 1 V was obtained.