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에너지 반환회로를 갖는 비대칭 펄스형 DC 플라즈마 전원장치에 관한 연구
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  • 에너지 반환회로를 갖는 비대칭 펄스형 DC 플라즈마 전원장치에 관한 연구
저자명
추대혁,유성환,김준석,한기준,Choo. Dae-Hyeok,Yoo. Sung-Hwan,Kim. Joohn-Sheok,Han. Ki-Joon
간행물명
전력전자학회 논문지
권/호정보
2013년|18권 6호|pp.593-600 (8 pages)
발행정보
전력전자학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The asymmetric pulsed DC reactive magnetron sputtering system is widely used for the high quality plasma sputtering process such as a thin film deposition. In asymmetric pulsed DC power supply a reverse voltage is applied to the target periodically to minimize arc discharging effect. When sputtering in the mid-frequency range (20-350 kHz), the periodic target voltage reversals suppress arc formation at the target and provide long-term process stability. Thus, high quality, defect-free coatings of these materials can now be deposited at competitive rates. In this paper, a new style asymmetric pulsed DC power supply including mid-transformer is presented. In the proposed, an energy recovery circuit is adopted to reduce the mutual inductance of the transformer. As a result, the system dynamics of the voltage control loop is increased highly and the non-linear voltage boosting effect of the conventional system is removed. This work was proved through simulation and laboratory based experimental study.