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초정밀 선삭가공을 위한 글로벌스테이지의 재현성 실험
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  • 초정밀 선삭가공을 위한 글로벌스테이지의 재현성 실험
저자명
박대광,곽남수,권대주,김재열,Park. Dae-Kwang,Kwak. Nam-Su,Kwon. Dae-Ju,Kim. Jae-Yeol
간행물명
한국생산제조시스템학회지
권/호정보
2013년|22권 6호|pp.982-988 (7 pages)
발행정보
한국생산제조시스템학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

With conventional positioning apparatus, it is very difficult to simultaneously achieve the desired driving range and precision at the sub-micrometer level. Generally, lead screw and friction drive, etc., have been used as servo control systems. These have large driving ranges, and high-speed positioning is feasible. In this study, we present a global servo system controlled by a laser interferometer acting as a displacement measurement sensor for achieving positioning accuracy at the sub-micrometer level.