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기판 온도 변화에 따른 Cu(In,Ga)Se2 박막에 관한 연구
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  • 기판 온도 변화에 따른 Cu(In,Ga)Se2 박막에 관한 연구
저자명
박정철,추순남,Park. Jung-Cheul,Chu. Soon-Nam
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2013년|26권 12호|pp.888-893 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper, we prepared $Cu(In,Ga)Se_2$ thin films by using co-evaporation method, and analyzed the properties of the thin films. During the thin film preparation process, we confirmed $InGaSe_2$ phase was formed at $400^{circ}C$ in first stage, and also confirmed the thin films showed the vacancy decrease. In second and third stage, we confirmed the density increase of crystalline structure at over $480^{circ}C$ and the formation of $Cu(In_{0.7}Ga_{0.3})Se_2$ phase. As the result of SEM and XRD analysis of the films which were before and after heat-treated, we confirmed the disappearance of $Cu_2Se_2$ and the formation of $Cu(In_{0.7}Ga_{0.3})Se_2$ single phase after the heat-treatment, We, therefore, confirmed the heat-treatment did not affect the absorbency spectra of the thin films.