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하이브리드 코팅 시스템에 의해 합성된 Zr-Al-N 박막의 미세구조와 기계적 특성, 산화 특성, 부식특성
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  • 하이브리드 코팅 시스템에 의해 합성된 Zr-Al-N 박막의 미세구조와 기계적 특성, 산화 특성, 부식특성
저자명
최하송,장재호,안은솔,김광호,Choi. Hasong,Jang. Jaeho,An. Eunsol,Kim. Kwang Ho
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
2013년|46권 6호|pp.242-247 (6 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Zr-Al-N coatings were synthesized by the hybrid coating system combining arc ion plating and DC magnetron sputtering from a Zr and an Al target in argon-nitrogen atmosphere, respectively. By changing the power applied on the Al cathodes, the Zr-Al-N coatings with various Al contents were deposited. The microstructure and chemical compositions of the Zr-Al-N coatings were studied by X-ray diffraction (XRD), high-resolution transmission electron microscopy (HRTEM). With increasing of Al content in the coatings, the solid solution (Zr, Al)N crystallites were observed in the Zr-Al-N coatings. The nanohardness of the Zr-Al-N coatings exhibited a maximum value of 42 GPa for the Zr-Al (7.9 at.%)-N, and decreased with further increase in Al content in the coatings. The oxidation and corrosion behavior of the Zr-Al-N coatings revealed better properties compared than those of ZrN coatings due to the formation of a solid solution.